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超精密球面反射标准镜

       超精密球面反射标准镜的表面面形经过精密测量,可以认为是绝对球面,凹凸面均可选择。 球面反射标准镜的数据文件储存为Zygo干涉仪的标准数据格式,在Zygo干涉仪的数据中能够移 除标准球面的误差,这样测试精度能够达到PV&lt;λ/30@632.8nm,定制产品可达到PV<λ/50@ 632.8nm.



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